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產(chǎn)品中心

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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測試橢偏拉曼AFM反射譜成像技術(shù)

反射譜成像技術(shù)

產(chǎn)品簡介

iSR是一種微光斑測試技術(shù)，用于實時刻蝕和Halftone工藝中的厚度測試

產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-06-24
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：581
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Capability:

  • 最小0.1μm光斑尺寸進行監(jiān)控

  • 波數(shù)測試范圍從20到100cm-1

  • 橢偏和iSR同步測試，可以獲得二維高分辨厚度圖譜

反射譜成像技術(shù) 反射譜成像技術(shù)






上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。



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